Entegris, Inc. è una società statunitense quotata che fornisce materiali avanzati e soluzioni di processo a supporto della produzione di semiconduttori e di altre industrie ad alta tecnologia. Il gruppo opera a livello internazionale con attività di produzione, ricerca e assistenza ai clienti e ha sede principale a Billerica (Massachusetts).
L'attività è incentrata su due aree principali. La divisione Materials Solutions sviluppa e commercializza materiali consumabili e chimiche di processo utilizzati nelle fasi più critiche della fabbricazione dei dispositivi, tra cui materiali per deposizione (CVD/ALD), consumabili per CMP (slurry e pad), gas speciali per impianto ionico, materiali formulati per incisione e pulizia e altri materiali specialty. La divisione Advanced Purity Solutions fornisce soluzioni di filtrazione, purificazione e controllo della contaminazione per garantire la purezza di liquidi e gas di processo e la pulizia di wafer e altri substrati, contribuendo a migliorare resa e affidabilità dei processi produttivi.